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晶圆洁净厂房净化空调设计实例
摘要 结合实例, 介绍了晶圆洁净车间的净化空调系统设计原则 、气流组织形式、空气处理过程, 并讨论了其空调系统的自控问题。
该工程位于辽宁沈阳出口加工区内, 是集科研开发 、生产制造为一体的专业 SOI 晶圆生产厂房。其工艺流程为:原材料 SOI 晶圆片经氧化、离子注入、键合、切割 、退火 、抛光等工序后成品出厂 。该项目主要生产厂房面积为 6 100 m 2 , 生产配套辅助建筑(含废水处理站、特种气体站 、柴油发电机房等)面积为 800 m 2 。其中洁净室面积约为 1 600m2(一期), 2014 年 10 月试投产, 用于工业化生产10 .16 ~ 20 .32 cm(4 ~ 8 in)SO I 晶圆。厂房区划图见图 1 。该洁净室洁净级别主要为 ISO 4 。5 级和 ISO 5 。5 级, 局部为 ISO 2 .5 级。室内主要设计参数见表 1 。
图 1 厂房平面区划示意
图2 洁净室送风流程示意